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薄膜的制備及其在太陽能電池中的應(yīng)用

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:80282 | 大。169.00KB | 下載:4440 次 | 上傳:2013-10-22

簡介:

采用甚高頻等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù),在相對較高氣壓和較高功率條件下,制備了不同硅烷濃度的微晶硅材料。

         
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