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薄膜的物理氣相沉積

薄膜的物理氣相沉積

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級別:| 積分:60 分 | 瀏覽:81173 | 大。1.02MB | 下載:4487 次 | 上傳:2013-09-05

簡介:

物理氣相沉積Physical Vapor Deposition(PVD): 利用某種物理的過程(如熱蒸發(fā)和濺射),實現(xiàn)物質(zhì)原子從源物質(zhì)到薄膜的可控轉(zhuǎn)移的過程。

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