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多晶制絨易出現(xiàn)問(wèn)題和解決方法1

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簡(jiǎn)介:

酸腐蝕本來(lái)應(yīng)該基本上是各向均勻的腐蝕。但當(dāng)硅表面是剛切割完的粗糙面時(shí),各個(gè)點(diǎn)的腐蝕反應(yīng)會(huì)有些許不同,起到了一定的選擇性腐蝕效果,于是形成了不規(guī)則的凹陷絨面結(jié)構(gòu)。如果一直腐蝕下去的話,這種絨面會(huì)消失掉,各個(gè)點(diǎn)的腐蝕反應(yīng)會(huì)趨向均勻,而表面也變成拋光面。

[展開(kāi)]
   

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