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基于靜壓氣浮導(dǎo)軌的直線電機(jī)高性能工作臺(tái)的研制
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簡(jiǎn)介:精密定位技術(shù)是精密工程領(lǐng)域的關(guān)鍵技術(shù),由直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的氣浮直線導(dǎo)軌工作臺(tái)在超精密運(yùn)動(dòng)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。本文介紹了靜壓氣浮導(dǎo)軌的設(shè)計(jì)方法,開發(fā)了止推氣浮軸承設(shè)計(jì)軟件;為了提高氣浮導(dǎo)軌的承載能力和剛度,總結(jié)提出了幾種適用于不同結(jié)構(gòu)氣浮導(dǎo)軌的預(yù)加載技術(shù);運(yùn)用氣浮軸承設(shè)計(jì)系統(tǒng)和適合的預(yù)加栽技術(shù),研制了能滿足大慣量、高速度、高精度要求的H型直線電機(jī)氣浮工作臺(tái)。
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