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直線電機驅動的H型氣浮導軌運動平臺
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級別：| 積分：0 分 | 瀏覽：83326 | 大小：708.09KB | 下載：4883 次 | 上傳：2013-05-14
簡介：建立了雙邊直線電機驅動的H 型氣浮精密定位平臺,對該精密定位系統(tǒng)的氣浮導軌設計方法和雙邊直線電機同步運動控制等關鍵技術進行了研究。利用有限元法設計了氣浮導軌,分析了氣膜壓力場的分布情況,采用預加載技術提高氣浮導軌的承載能力和剛度等性能。靜態(tài)特性實驗表明,開發(fā)的定位平臺氣浮導軌具有較高的承載能力和剛度, X 、Y導軌的豎直方向靜剛度為276. 9 N/μm 和333. 3 N/μm。設計了基于同步速度偏差的改進型并聯(lián)結構同步控制器,采用模糊控制實現(xiàn)PID 參數(shù)的自適應在線整定。運動實驗表明,改進的控制器具有
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