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直線電機氣浮精密平臺的設計與控制
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級別：| 積分：0 分 | 瀏覽：83147 | 大�。�831.57KB | 下載：5006 次 | 上傳：2013-05-14
簡介：高精度綜合測量儀在工作中要求達到亞微米級的運動精度, 為此建立了X Z 直線電機氣浮精密運動平臺, 對氣浮導軌設計、直線電機控制等關鍵技術進行了研究. 采用有限元設計法設計了氣浮導軌, 實驗結果表明, 采用該方法設計的氣浮導軌具有較高的承載能力和剛度. 提出一種改進的PID控制策略, 從而改善直線電機運動平臺的抗干擾能力, 并使其獲得較高的穩(wěn)態(tài)位置精度. 實驗結果顯示, 在采用這種控制方法后, 直線電機氣浮精密平臺的定位精度可達到0. 5 m.
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